2020
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当确定真空系统的配置时，设备能够达到的极限压力取决于从系统外部到系统内部的总泄漏率Qo和由虚拟泄漏形成的总“泄漏”率∑Q1以及泵送系统的有效泵送速度的总和。 真空技术中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或间隙，以及可渗透元件或气体泄漏装置，当密闭容器内外的气体压力或浓度不同时，这些元件或气体泄漏装置允许气体从容器壁的一侧泄漏到另一侧。由于泄漏孔尺寸小、形状复杂，不能用几何尺寸来表示，因此其尺寸一般用等效电导或泄漏率(称为“泄漏率”)来表示，单位为pa·l/s。 焊缝是真空制造过程中最容易出现漏孔的区域之一。 常见的焊缝外观缺陷和其他缺陷，如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹和内应力等，是超高真空系统中漏孔或虚漏源的隐患。为了最大限度地减少焊接缺陷并便于检查，超高真空要求焊接零件尽可能将焊缝放置在真空侧，大气侧焊缝仅用作断续强化焊缝，而最大数量的焊缝可在制造阶段单独测试，并在最终组装前进行校正。由于一些零件的横截面尺寸较小，内壁的焊接受到限制，一些零件只能使用大气侧焊缝。焊缝应一次焊接，以避免两次焊接造成的有害空间。因此，有必要保证单面焊和双面成形的良好效果。 此外，应该指出的是，由于压力差、振动、热循环和其他原因在接头中产生的应力和应变可能导致包含缺陷的焊缝中出现裂纹，从而对焊缝造成损坏，或者焊缝在使用过程中可能被腐蚀，这可能形成泄漏点。 因此，所采用的焊接方法必须能够使焊...